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TECHNICAL ARTICLES測(cè)量顯微鏡在電子工業(yè)的應(yīng)用
測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。
光學(xué)測(cè)量顯微鏡
采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。主要運(yùn)用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試。適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要特點(diǎn):工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),是一種理想的固定場(chǎng)所小型精密測(cè)量?jī)x器。
一種將將顯微鏡看到的實(shí)物圖像通過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換,使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計(jì)算機(jī)上的顯微鏡設(shè)備。適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便
移動(dòng)的物件的觀察測(cè)量。適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要特點(diǎn):小巧便攜,只需一臺(tái)計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測(cè)微觀放大圖像,進(jìn)行數(shù)據(jù)測(cè)量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場(chǎng)所觀測(cè)。數(shù)碼測(cè)量顯微鏡幾年來(lái)得到廣泛的普及使用,已成為一種可靠實(shí)用的精密測(cè)量?jī)x器。
Z軸非接觸式
以裂像聚焦指示器為測(cè)量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)方式進(jìn)行非接觸高低差測(cè)量。不僅可以對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)影像, 還能觀察測(cè)量點(diǎn)的表面狀態(tài),對(duì)高度,深度,高低差等進(jìn)行測(cè)量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場(chǎng),微分干涉,金相,偏光等多種觀察功能。所以對(duì)極細(xì)微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察
具體功能:
● 自動(dòng)尋邊測(cè)量功能
可根據(jù)取點(diǎn)范圍,自動(dòng)識(shí)別線、圓、弧,具有*的去毛邊的功能,并提高線距、線夾角、圓半徑、弧半徑測(cè)量精度,避免人工誤差。
● 幾何測(cè)量功能
線、圓、矩形、多邊形、角度等測(cè)量工具,對(duì)圖像上兩點(diǎn)距離、線段長(zhǎng)度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、折線、多邊形、點(diǎn)線、平行線距的等幾何參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
● 視頻處理功能
視頻的實(shí)時(shí)播放,暫停,停止功能;
自動(dòng)白平衡,自動(dòng)曝光功能;
視頻參數(shù)設(shè)置功能(RGB設(shè)置,gamma調(diào)節(jié),曝光設(shè)置,偏移量設(shè)置等等);
視頻縮放顯示及視頻大小控制功能;
視頻上下、左右反轉(zhuǎn)功能等;
視頻采集功能,包括靜態(tài)捕獲、原始圖像采集
● 圖像處理功能
圖像模糊及銳化;
亮度/對(duì)比度調(diào)節(jié);
RGB增益調(diào)節(jié);
多幅圖片組合功能,包括圖片間邏輯與,邏輯或,疊加等操作;鏡像,旋轉(zhuǎn)功能;
提取邊緣功能;
浮雕效果;
圖像對(duì)比功能(即把拍下來(lái)的兩張或多張圖像在同一窗口顯示進(jìn)行比較);
圖像拼接功能;
單獨(dú)選擇圖像的某一個(gè)部份進(jìn)行操作。
● 圖像數(shù)據(jù)管理與輸出
圖像庫(kù)瀏覽、圖像標(biāo)注、文字操作、打印等功能實(shí)現(xiàn);
測(cè)量圖片可存為bmp、jpg格式。
主要用途
主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程,在塑膠行業(yè)和生物等等有的應(yīng)用,是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造,觀察零件直接的距離,是精密儀器。
如今。隨著自動(dòng)化測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,測(cè)量顯微鏡在傳統(tǒng)的基礎(chǔ)上有了較大的改變,主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面:一是成像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)已發(fā)展為使用CCD(Charge Coupled Device)成像瞄準(zhǔn)技術(shù)。所成的像通過(guò)數(shù)據(jù)線傳送到計(jì)算機(jī)并顯示出來(lái),這種成像方式比原來(lái)在目鏡視場(chǎng)中所形成的圖像更加直觀清晰,大大降低了對(duì)線瞄準(zhǔn)誤差:二是讀數(shù)裝置由原來(lái)的玻璃線紋尺變?yōu)楣鈻懦哂?jì)數(shù)。所得的數(shù)據(jù)直接傳到計(jì)算機(jī),通過(guò)特定的軟件程序自動(dòng)評(píng)定計(jì)算。不僅消除了人員的讀數(shù)誤差,同時(shí)還大幅度地提高了測(cè)量效率。
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